你見過硅片清洗機嗎?它是怎么工作的呢?

當(dāng)一片晶圓被切割成很多小的硅片之后，會被放入這個轉(zhuǎn)盤上。然后通過真空吸盤固定住，接著就進入清洗腔體。

這里會噴射出超純水和三氯氫硅氣體混合物，對硅片進行全方位無死角的沖洗，以此來去除表面的雜質(zhì)、金屬離子以及有機污染物等，以達到一個清潔的效果，為下一步的刻蝕做準(zhǔn)備。

整個過程非?？欤恍枰獛酌腌娋湍芡瓿汕逑?，效率非常高。而且它還能通過視覺系統(tǒng)檢測硅片是否清洗干凈，如果發(fā)現(xiàn)不合格就會重新洗一遍。

清洗完后，再通過傳送帶輸送到下一工序中。不得不說，這玩意真是科技與狠活啊!